Đếm Hạt Bụi Phân Loại Độ Sạch

Phương pháp thử nghiệm này quy định phép đo nồng độ các hạt trong không khí với các phân bố kích thước từ 0,1 µm đến 5 µm. Các phép đo có thể được thực hiện ở bất kỳ trạng thái nào trong ba trạng thái sử dụng đã xác định: trạng thái xây dựng, trạng thái nghỉ và trạng thái hoạt động. Các phép đo được thực hiện để xác minh việc phân loại độ sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644-1.

 

Bảng 1 - Tiêu chuẩn phân loại cấp sạch không khí theo nồng độ hạt

 

- Máy đếm hạt bụi

- Chứng chỉ hiệu chuẩn của máy đếm hạt bụi được sử dụng.

a) Xác định vị trí lấy mẫu

 

Xác định số điểm lấy mẫu tối thiểu, NL theo bảng A.1. Bảng A.1 cung cấp số điểm lấy mẫu theo diện tích của phòng sạch hay khu vực sạch.

 

Bảng A.1 -  Số điểm lấy mẫu theo diện tích phòng sạch

 

 

b) Xác định thể tích lấy mẫu và thời gian lấy mẫu

 

c) Quy trình lấy mẫu

0.5μm ≤ 3520 tiểu phân/m3 and 5μm ≤ 20 tiểu phân/m3 ở tất cả các lần đo theo hướng dẫn EU-GMP, phụ lục 1.